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MOS構造優(yōu)點(diǎn)是什么,特點(diǎn)有什么優(yōu)勢?工作原理是什么?

信息來(lái)源:本站 日期:2017-07-25 

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場(chǎng)效應管TMOS,VMOS

MOSFET構造,從縱剖面來(lái)看,柵極(柵區)、源極(源區)、漏極(漏區)大致排列在同不斷線(xiàn)上,這樣的構造被稱(chēng)為橫向溝道(Ltcral Channel)構造。同時(shí),柵極,精確一點(diǎn)說(shuō)是“柵區”與漏區、源區的分界面大致也是平面狀的,這種柵極構造稱(chēng)為平面柵極(Planar Gate)構造。


上述構造的優(yōu)點(diǎn)是結電容小,比擬合適于高頻小功率應用,缺乏之處是源極與漏極相距比擬遠,導電溝道的寬度有限,不太合適于功率應用?!鞍疾?。形的“槽柵”(Trench Gate)構造可以增加柵區與源區和漏區的接觸面積,增加對電流的控制才能。垂直溝道構造是將源極與漏極配置在柵極的-側,漏極與源極則是相向排列,這樣的溝道構造縮短了溝道長(cháng)度,合適于大電流應用。


功率MOS場(chǎng)效應管大都采用“垂直”溝道和“槽柵”構造,合起來(lái)簡(jiǎn)稱(chēng)“溝槽柵”結構。電子顯微鏡下的照片以顯現兩種溝道和柵極構造的主要區別(圖1.14)。



TMOS (TrenchMOS)的稱(chēng)號固然指的是槽柵構造的MOSFET,但由于槽柵與垂直溝道常常是同時(shí)應用的,因而它也同時(shí)指垂直溝道構造,即“溝槽柵。構造的功率MOSFET。

最先應用的槽柵構造的剖面外形與英文字母“v”很類(lèi)似(圖1. 15),VMOS的最初稱(chēng)號就是由此而來(lái),它是“V-groove Vertical Metal Oxide Semiconduc-tor”的縮寫(xiě),曾經(jīng)簡(jiǎn)稱(chēng)為“VVMOS”,至今依然可以在一些公開(kāi)的材料中見(jiàn)到。這種依據柵極(柵區)的剖面外形停止的技術(shù)命名辦法也被沿用了下來(lái),以后陸續呈現了UMOS、πMOS等


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